凌臣科技高速中空轴电机在半导体行业应用

随着中国的半导体行业的发展，制程设备关键零部件的发展成为制约设备发展的关键，伴随着国内半导体技术国产化的呼声越来越高，越来越多的半导体卡脖子技术将被攻破，我司根据多年在半导体行业中布局的相关经验，特研制出应用于半导体涂胶、显影、清洗设备中吸附晶圆的空心轴高速伺服电机，该电机具备高加速度，速度范围宽，高响应性等特点，在业内广受客户好评。

凌臣科技高速中空轴电机应用领域

一、高速中空轴电机的特点

1、松下驱动器+中空轴电机，确保品质长期高效的稳定运行

2、中空轴高速电机结构：额定转速：5000rpm，最大转速6000-8000rpm

3、超快的加速/减速时间：47750R/S²

4、低噪音、低震动、轴端跳动系数低至0.01mm

5、轴孔采用真空空心轴设计，轴端独特的设计，确保chunk运行平稳

6、电机功率:750/1000W，采用水冷却系统设计，符合6吋、8吋、12吋晶圆的要求

7、可以针对不同用户可以为客户进行轴端定制化设计

高速中空轴电机应用方案拓扑图

二、高速中空电机的应用范围：
1、曝光显影设备(涂胶，显影)光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。
2、清洗、涂胶、显影去膜设备。
3、适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗及喷雾工艺。

三、凌臣科技高速中空轴伺服产品规格及应用领域

1、750W/1000W–5000,6000rpm

2、应用领域（高端机型）

l8寸、12寸半导体设备

l涂胶、显影、清洗、刻蚀等工艺

l最大加速度可以达到50000R/S²瞬时加速

l特殊的轴端设计，确保轴端负载跳动系数最低

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